该案例分析出于西北城市某家大一些的半导体材料研制公司,主耍生产方式制造模块化电源线路存储芯片。在生产方式制造进程中,晶圆家电清洗、蚀刻等工艺程序需的使用过多电子元器件级磷酸(饱和度≥85%),由此而知导致低浓度值含磷废水治疗方法。公司原先的治疗基础设施无非充分考虑空前严格规范的排卸规格(TP≤0.5mg/L),急求晋级创新。
废液基本成分及由来
生产废渣处理方法最主要的源头于几个的环节:晶圆清晰生产废渣处理方法(占总储水量60%)、生产设备冲泡生产废渣处理方法(30%)各类地上冲泡生产废渣处理方法(10%)。环境质量的特点展示为:pH值1.5-2.5,总磷密度800-1200mg/L,氟正离子含磷量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并富含少量天价属(铜、锌等)。
正确处理制作工艺操作流程
項目用于"预治理 +电学滤渣+精致钝化+深度的过滤器"的组装生产技术:
调节器池
:多样化水的质量蓄水量,安装有pH迅雷监测网软件
一个反馈池
:污泥脱水生石灰乳上下调整pH至8.5-9.0,成型Ca3(PO4)2沉淀物中
三级作用池
:插入PAC和PAM进行强化斜板沉淀池目的
斜板凝固池
:变现固液分离法,淤泥来到脱水情况整体
Fenton阳极氧化机组
:H2O2与Fe²⁺协同作战的作用生物降解有机物
多媒介过滤系统器
:熔融石英砂+几丁质酶炭搭档过滤装置,事关水流清晰
铁离子交流平台
:进第一步我们要除多余金屬阴阳离子
结果是目的
平台自动执行可靠后,出液水质监测:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟正离子≤5mg/L,每项指標依赖于《电子元器件重工业水环境破坏物排污细则细则》(GB 39731-2020)。常年可以减少磷排污细则约15吨,工业废水导致量较传统性制作工艺减轻40%,自动执行制造费有效控制在8.两元/吨水。