该厂为8寸大晶圆制作线相互配套的超注射用水控制系统,每一天发生含硅电镀废水150吨。电镀废池里虽无天价属,但硅含磷量高易积灰,且功率电阻率需可达到18MΩ·cm才能够使用。原本的加工技术就没有办法足够新颁发的《自动化化工业水水空气污染物产生条件》(GB39731-2020)格外产生限制值。
电镀废水部分优点
具体破坏物
:胶体溶液硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒级0.1-1μm)
特有条件
:TOC<10μg/L,硼浓度<5μg/L
饮用水质基本特性
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅化学物质形态特征繁复
处置制作工艺标准流程
创新技术分为"梯级膜拆分+电去化合物"女子组合方法:
微滤预净化处理
:1μm工业陶瓷膜阻拦大颗粒剂硅,通量达到80LMH
阳离子交流树酯
:D201大孔树脂材料考虑性降解硅酸氧分子
五级RO控制系统
:第一名段出售率60%,二段用到高脱硼膜组件
EDI电去阴离子
:电流大小硬度2A/m²,快速消除残渣亚铁离子
紫外光灭菌
:254nm分光光度计线分子量40mJ/cm²
枝术工作亮点
发展使用阻硅剂(充分胺类复合型物),推迟膜弄脏周期性3倍
EDI输出模块研发流道设计的概念,硅除去率完善至99.8%
免费在线硅分折仪(检测使用范围0.1-500μg/L)实现了脱贫保持
操作成效明显
经第第三方获取方检则:
总硅从280mg/L降到0.05mg/L
硼份量从8μg/L减少为0.3μg/L
设备利用率从原40%优化至68%
膜更改周期性提升至5年,年电脑运行总成本降底35%