某半导营造厂家因晶圆拆洗工艺程序制造含氨焦化废水，水流量200吨/天。焦化废硫酸铜溶液除氯离子外还有氟化物和轻微高价属，净化处理关卡大。当地人的环保排放标准规定请求氯离子＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 焦化废水组成成分及来源地 晶圆清洁工作废水处理（首要由来）：含高锰酸盐指数200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀加工过程废水处理方法：含少量铜、镍等天价属，pH值振幅大 CMP磨研电镀废水：含硅粒状及氟化物 工作加工环节 进行"电化学结晶+膜分割+折点氯化"组合起来艺： 预处里 ：添加CaCl2除氟，控制pH在7.5-8. 反渗透装置设备 ：剔除0.01μm超过顆粒物 ro反渗透性和浓缩液 ：将氯离子浓缩提炼至1000mg/L以上的 折点氯化 ：高精度保持氯加药系统量，将化学需氧量导出为氢气 化合物更换 ：安全保障天价属标准 终结治疗效果 挥发酚稳定性高＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属含水量不低于探测限 水工业废水处理率达75% 飞灰引发量缩短40%